本文摘要：中国化工机械网讯：中科院沈阳化物所、沈阳华海制氢设备有限公司联合研发的金属钯复合膜氢气提纯装置日前已完成了200m3/h规模工业化样板。该技术彻底解决了多晶硅生产循环氢气中痕量和超强痕量杂质无法除去的难题。 该技术是沈阳化物所在国内外*构建产业化的专利技术，可应用于我国几十家多晶硅企业，对于推展电子信息、半导体、LED灯光和光伏发电等战略性新兴产业发展具备最重要意义。

中国化工机械网讯：中科院沈阳化物所、沈阳华海制氢设备有限公司联合研发的金属钯复合膜氢气提纯装置日前已完成了200m3/h规模工业化样板。该技术彻底解决了多晶硅生产循环氢气中痕量和超强痕量杂质无法除去的难题。

　　该技术是沈阳化物所在国内外*构建产业化的专利技术，可应用于我国几十家多晶硅企业，对于推展电子信息、半导体、LED灯光和光伏发电等战略性新兴产业发展具备最重要意义。　　据理解，在多晶硅生产过程中，原料带入的各种超强痕量金属杂质（ppb级）不会在多晶硅上沉积，对产品质量产生相当大影响，而传统变压导电和深冷技术无法对这些痕量和超强痕量杂质更进一步脱除。金属钯复合膜则可以对这些杂质展开有效地截击，使得各种杂质含量减少百倍以上，从而大大提高多晶硅产品纯度和质量。

　　现场样板结果还指出，通过对循环氢气展开提纯，可使多晶硅质量皆超过电子级标准。对于循环氢气中含量有时不会忽然减小的甲烷或者氮气，该提纯装置可以大大将其从体系中除去，使大循环体系的氢气质量获得明显改善。使用其提纯后的氢气生产多晶硅，产品中金属杂质含量比较平稳，指出该提纯器可以为多晶硅平稳生产充分发挥确保起到。

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